【雙旭電子】DH-FUC 新能源電池綜合特性測試儀
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多功能微波等離子體實驗裝置由微波源、真空系統、供氣系統、冷卻系統、微波傳輸及微波諧振腔組成；由微波源產生頻率為2.45GHz的微波，沿矩形波導管傳輸，在水冷諧振腔反應室內激勵氣體形成軸對稱的等離子體球。可完成以下實驗：微波等離子體化學氣相沉積法制備多種功能薄膜材料、微波等離子體刻蝕加工實驗、材料表面改性和清洗等；適合大學物理、材料、化學等域的學生實驗及教師科學研究。
直流輝光等離子體實驗裝置由可拆卸的氣體放電管、測量系統、真空系統、進氣系統和水冷系統等部分組成;工作氣體、工作氣壓、電極距離等參數均可靈活地調控。可完成的實驗有：湯森電離系數a及比值a/p的測定；直流低氣壓放電現象觀察及伏安曲線的測量;氣體擊穿電壓的測定及帕邢定律驗證實驗。
微波CVD薄膜制備裝置為一高效微波等離子體化學氣相沉積制備設備，可用于生長金剛石薄膜、碳納米管、氮化硅、碳化硅等超硬膜，具有生長速度快、操作簡便、性價比高等優點。適合大學物理、材料、化學等域的學生實驗及教師科學研究。
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