(一)主要配置:
1、微波頻率2.45GHz;足額功率0~500W(基本型)或0~1000W(升級型)連續可調,陽極高壓、陽極電流足額顯示;
2、Φ50mm(基本型)或Φ90mm(升級型)石英管真空室,有一個觀察窗和一個診斷窗;
3、石英管采用制冷循環水冷卻,保證裝置安全運行。
4、配有真空測量及控制閥門系統;3路工作氣體流量控制;
(二)典型實驗:
1、等離子體化學氣相沉積。A(氣)+B(氣)→C(固)+D(氣)。
反應氣體A、B被激發為等離子狀態,其活性基團發生反應生成所需要的固態物沉積在基片上,可廣泛用于薄膜或納米材料的合成。如金剛石薄膜、碳納米材料等。
2、等離子體表面刻蝕。A(氣)+B(固)→C(氣)。反應氣體A被激發為等離子體狀態與固體B表面原子發生反應生成氣態物C,可用于集成電路的刻蝕實驗。
3、等離子體催化反應。等離子體中具有豐富的活性成分,如紫外和可見光子、電子、離子、自由基,高反應性的中性成分如活性原子、受激原子態,從而可以引發在常規化學中不能或很難實現的化學反應。
4、等離子體表面改性。A(氣)+B(固)→C(固)。反應氣體A被激發為等離子體狀態,與固體B表面發生反應,生成新的化合物,從而達到改變B物質表面性質的目的。廣泛用于高分子材料、金屬材料、生物醫用材料的表面改性。
(三)產品特色:
1、 微波系統設計嚴謹,加工精良,運行時微波準零泄漏,確保使用者人身安全;
2、 微波功率充足,等離子效應強勁,作用效果良好;陽極電壓電流足額顯示。
3、 樣品臺升降架精巧豪華,方便調諧和樣品取放;
4、 樣品臺可加熱或冷卻,有利于控制反應過程。
5、制冷循環水系統踐行環保理念,避免用長流水費水擾民。
6、循環水機可聯機使用、可獨立使用,提高了投資效益;
7、缺水時啟動高壓或正常工作時斷水,系統會斷電并報警;
8、真空泵排氣口接有油霧過濾器,保護環境;
9、電控系統功能完善、操作靈便、指示醒目;
10、整機造型典雅大氣。
(四)輔助設備與耗材(主要由客戶另購):
超聲清洗機、1000×金相顯微鏡;硅片、金剛石微粉、氫氣、甲烷、甲 / 乙醇、玻璃基襯底的碳膜、模板、石英管 / 板等。
(五)特殊配置(客戶提出要求,本廠設計制作,費用雙方協商):
1、異型基片臺(樣品臺) (參考價¥220)
2、上置疹斷探針(帶透明觀察窗) (參考價¥360)
3、可加熱可測溫的基片臺——可水冷可
出接線端子的基片臺支柱——寬行程
精巧豪華升降架——下法蘭(總成) (參考價¥6800)
4、基片臺加熱及溫度測控儀 (參考價¥1100)
5、可水冷的基片臺(帶升降架總成) (參考價¥3600)
6、光學鏡頭(用于聯接光譜儀、光度計等) (參考價¥1500)
7、客戶提出需求的其它配置 (另議)
UT-205A數字鉗形表 UT-208數字鉗形表 UT-207A數字鉗形表 UT-200A數字鉗形表 UT200D,UT-200D數字鉗形表 UT-202數字鉗形表 UT-203數字鉗形表 UT206A,UT-206A數字鉗形表 UT-209數字鉗形表 UT-208A數字鉗形表 UT-200B數字鉗形表 UT-204A數字鉗形表 UT-211數字智能型鉗式萬用表 UT-212數字智能型鉗式萬用表 UT-151B新款數字萬用表 UT151E,UT-151E新款數字萬用表 UT-151C新款數字萬用表 UT-151F新款數字萬用表 UT-151A新款數字萬用表 UT-151D新款數字萬用表 UT-151G新款數字萬用表 UT-136B自動量程數字萬用表 UT-136C自動量程數字萬用表 UT-136A自動量程數字萬用表 UT-136D自動量程數字萬用表 UT-132B掌上型數字萬用表 UT-132C掌上型數字萬用表 UT-132A掌上型數字萬用表 UT-132D掌上型數字萬用表 UT-118A筆式萬用表 UT-118B筆式萬用表 UT-101手持式汽車多用表 UT-107手持式汽車多用表 UT-105手持式汽車多用表 UT-108手持式汽車多用表 UT-106手持式汽車多用表 UT-109手持式汽車多用表 UT-90B環保型數字萬用表 UT-90C環保型數字萬用表 UT-90A環保型數字萬用表 UT-90D環保型數字萬用表 UT-81A示波型數字萬用表 UT-81B示波型數字萬用表 UT-71C智能型數字萬用表 UT-71A智能型數字萬用表 UT-71D智能型數字萬用表 UT-71B智能型數字萬用表 UT-71E智能型數字萬用表 UT-70B通用型數字萬用表 UT-70C通用型數字萬用表 UT-70A通用型數字萬用表 UT-70D通用型數字萬用表 UT-61C新款自動量程數字萬用表 UT-61A新款自動量程數字萬用表 UT-61D新款自動量程數字萬用表 UT-61B新款自動量程數字萬用表 UT-61E新款自動量程數字萬用表 UT-60C數字萬用表 UT-60F數字萬用表 UT-60A-CN數字萬用表 UT-60D數字萬用表 UT-60G數字萬用表 UT-60B數字萬用表 UT-60E數字萬用表 UT-60H數字萬用表 UT-58D通用型數字萬用表 UT-58A通用型數字萬用表 UT-58C通用型數字萬用表 UT-58B通用型數字萬用表 UT-58E通用型數字萬用表 UT-50C通用型數字萬用表 UT-50A通用型數字萬用表 UT-50D通用型數字萬用表 UT-50B通用型數字萬用表 UT-50E通用型數字萬用表