機械泵停泵時,泵出口的空氣壓力將使泵反轉,會使泵油返到真空室中,空氣也會進入到真空室從而破壞系統的真空。因此需要特殊的閥門把泵和真空室隔開,以防止空氣和泵油進入真空室。
電磁壓差放氣閥是機械真空泵的入口專用閥門,其電源與機械泵的電源聯鎖,放氣閥置于泵入口管道中,其作用為:當泵斷電或控制開關斷開時,電磁閥動作,向泵入口放氣,并且靠大氣壓力自動關閉泵與真空室之間的管道。泵啟動時,電磁閥關閉,泵對閥腔內部抽空,然后閥板靠彈簧壓力打開,使被抽容器與機械泵進氣口接通。電磁放氣閥的常見故障及消除辦法如表8所示。
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